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全方位離子注入與沉積設(shè)備發(fā)布日期:2020-08-05 瀏覽次數(shù):

全方位離子注入與沉積設(shè)備(圖1)

全方位離子注入是一種先進(jìn)的材料表面改性新技術(shù)。其基本原理是:將需處理的工件直接浸泡在等離子體中,在工件上施加負(fù)脈沖高壓,離子通過工件周圍的等離子體鞘層的加速從各個(gè)方向垂直注入工件表面,從而改變零件表面層的物理和化學(xué)特性。該設(shè)備功能強(qiáng)大,可以注入氣體和金屬離子,亦可實(shí)現(xiàn)增強(qiáng)沉積成膜,在一定深度內(nèi),形成與基本之間連續(xù)過渡的表面改性層。此改性層的結(jié)合力,遠(yuǎn)優(yōu)于PVD、CVD涂層。它可明顯的提高材料的耐磨、耐腐蝕等性能,從而提高其使用壽命。